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                iFocus晶圆这恶魔之主检测系统

                项目

                iFocus

                产品类型

                EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG

                进料方式

                裸硅片或者猛然抬头绷环蓝膜

                硅片尺寸

                5寸/6寸/8寸/12寸

                多镜头配置(正面2D)

                2.5X /5X /10X  可选配20X

                灯光模组

                3组独立☆光源配置

                辨识率

                3.14um/1.57um/0.78um 每像素

                检测能力

                2x2 像素

                3D 相机

                可选配

                复判镜头(彩色)

                传输手臂

                日本高精度双手臂模√组

                OCR/二维码

                支持

                翘曲范围

                2毫米

                检测项目

                晶圆表面划伤检』测/RDL 断路/凸起←尺寸和高度检测/残胶/金属残留等

                速度

                8寸  检查2D 在2.5X时 80片以上

                8寸  检查3D 40片以上

                MTBA

                6小时

                MTBF

                1000小时

                洁净度

                Class 1000

                内洁净

                设备尺寸

                2x2.1x2.1m

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