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                CP12 全自动12英寸探针台

                项目

                CP12探针台

                机台尺寸

                1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

                适用晶圆

                200mm,300mm

                晶圆厚度

                250~2000μm

                Die Size

                350μm ~76,000μm

                晶圆搬运方落日之森新式

                背面真空吸取,双Arm

                针测精度

                XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

                XY平台

                重复定位→精度±1μm

                Z轴

                重复定位了精度±1.5μm,最大速度30mm/s

                针测压力

                50kg(可选200kg)

                校准方式

                图像校准,高低倍模板匹↓配

                Index Time

                240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

                测试温度

                常温~150℃±1℃

                通讯接口

                GPIB,预留TTL和RS232

                可选功能

                ID读取,自动换卡

                 

                ※主要针对CIS和SOC产品推出的高性价比探针台

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